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星空(中国) 新闻中心 行业资讯 10万级半导体净化车间施工的几个要点

10万级半导体净化车间施工的几个要点

Thu Oct 24 11:37:59 CST 2024
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  10万级半导体净化车间的施工是一项复杂而精细的工程,需要确保最终的建成环境符合相关标准,并能有效运行。以下是施工过程中的几个关键要点,具体随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下吧!

  一、设计阶段

  1、合理规划空间布局:

  净化车间的空间布局要充分考虑生产流程、设备布置、人员流动等因素。

  尽量减少交叉感染的风险,确保洁净区与非洁净区之间有明显的分隔。

  2、选用合适的材料:

  净化车间的材料选择要符合国家相关标准,具有良好的耐腐蚀、耐磨损、易清洁等特点。

  应选择具有抗菌、抗病毒等功能的材料,以减少细菌滋生和传播的风险。

  3、确定合适的空调系统:

  净化车间的空调系统要能够满足温度、湿度、洁净度等要求。

  在选择空调系统时,要考虑其能耗、噪音、稳定性等因素,以确保车间的环境舒适且符合生产要求。

  4、确定净化等级:

  十万级净化车间通常要求空气洁净度达到ISO 14644-1标准中的Class 8,颗粒物浓度要求在0.1μm粒径范围内的大浓度为3,520,000个/m3。

  二、施工阶段

  1、严格控制施工流程:

  净化车间的施工流程要严格按照设计要求进行,确保每个环节的质量和精度。

  在施工过程中,要保持与设计人员的密切沟通,及时解决问题。

  2、做好密封处理:

  净化车间的密封性要求很高,因此要对门窗、墙壁、地面等部位采用密封性好的材料进行施工。

  确保净化车间的密封性能,防止外部污染物的进入。

  3、做好防尘处理:

  净化车间的尘埃颗粒数必须控制在一定范围内,因此要做好防尘处理。

  可以采用吸尘器、拖把等工具进行清洁,同时注意保持施工环境的卫生和整洁。

  4、注意关键设备的安装:

  包括净化板材、空调设备、照明设备、电气线路、给排水管道等的安装,确保安装牢固、易于清洁和维护。

  空调设备、照明设备等要选用适合洁净车间的型号和规格,满足车间环境要求。


10万级半导体净化车间


  三、调试阶段

  1、空气净化调试:

  在净化车间投入使用前,要进行空气净化调试。

  通过测试和调整净化空调系统、新风系统等设备,确保净化车间的空气质量符合要求。

  2、洁净度检测:

  根据国家相关标准和企业要求,进行洁净度检测是必要的。

  可以采用专业的检测仪器对净化车间的洁净度进行检测,并对不合格的区域进行整改和调整。

  四、维护阶段

  1、定期维护设备:

  净化车间的设备要定期进行维护和保养,以保证其正常运行和使用效果。

  对于空调系统、新风系统等关键设备,要定期检查其运行状况、清洗滤网等部件。

  2、清洁卫生工作:

  净化车间的清洁卫生工作十分重要,可以减少细菌滋生和传播的风险。

  在日常使用过程中,要定期打扫卫生、清洗设备表面等,保持净化车间的整洁和卫生。

  五、安全管理

  1、制定安全计划:

  在施工前,编制项目质量计划,明确各工序、各环节的安全措施、负责人及奖惩措施。

  建立项目安全保证体系,确保施工安全。

  2、安全培训:

  对施工人员进行安全教育和技术培训,提高施工质量和安全意识。

  3、安全措施:

  悬挂安全警示牌,张贴安全宣传标语,营造安全施工环境。

  严格执行安全检查制度,及时排除不安全因素。

  强化安全操作规程,确保施工安全。

  综上所述,10万级半导体净化车间的施工要点包括设计阶段、施工阶段、调试阶段、维护阶段以及安全管理等多个方面。这些要点涵盖了从空间布局、材料选择到设备安装、调试检测、维护保养以及安全管理的全过程,确保净化车间的施工质量和运行效果符合相关标准和要求。

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